FR-pRo
FR-pRo to modułowa seria przyrządów pomiarowych, dostosowanych do potrzeb klienta i używanych w szerokim zakresie różnorodnych zastosowań, takich jak standardowe pomiary absorbancji / transmitancji i odbicia, do charakteryzacji warstw w kontrolowanych warunkach temperatury i otoczenia.
FR-pRo składają się z następujących modułów:
- Jednostka główna
- Moduły i zestawy z listy akcesoriów (więcej w zakładce Akcesoria)
- Uchwyt na podłoże / kuwety do pomiarów absorbancji / transmitancji i pomiarów stężeń
- Zestaw do pomiarów grubości warstw do charakteryzacji warstw
- Zestaw do pomiarów w kontrolowanych warunkach temperatury
- Kule całkujące do pomiarów całkowitej i dyfuzyjnej reflektancji
- Moduł ogniskujący do zmniejszenia plamki do < 100μm
- Celki przepływowe do pomiarów absorbancji i fluorescencji w cieczach
- Szeroka podstawa do pomiarów podłoży o średnicy 300 mm
- Zmotoryzowany stolik do wykonywania zautomatyzowanych pomiarów w odbiciu i transmisji
- Ręczny stolik X-Y do pozycjonowania próbek o wielkości 100 x 100 mm
Jednostka Główna
Jednostka główna zawiera zminiaturyzowany wysokiej jakości spektrometr, odpowiednie źródło światła i wszystkie niezbędne moduły elektroniczne (źródła zasilania i sterowniki).
Źródło światła zapewnia wysoką stabilność widma emisyjnego, kontrolowane programowo natężenie światła i bardzo długi czas pracy.
Obudowa jednostki głównej jest wykonana z wysokiej jakości przemysłowego anodowanego aluminium, oferując solidną i modułową konstrukcję.
Górna pokrywa jednostki głównej to optyczna płyta z nawierconymi gwintami M6 (lub ¼ ”) i wielkości 340 mm x 200 mm. Płyta ta służy jako uchwyt próbki, aparatu pomiarowego i standardowych złączy SMA-905 dla światłowodów przenoszących światło ze źródła światła i do spektrometru.
Jednostka główna jest dostępna w wielu konfiguracjach w zakresie długości fal 200–2500 nm i może być dalej dostosowywana do określonych potrzeb Standardowe konfiguracje są przedstawione na poniższej tabeli oraz ilustracji:
NAZWA | ZAKRES SPEKTRALNY | ZAKRES POMIARU |
FR-pRo-D UV/NIR | 190nm-1700nm | 1nm-250μm |
FR-pRo VIS/NIR | 380nm-1000nm | 12nm – 100μm |
FR-pRo RED/NIR | 600nm – 1040nm | 200nm – 250μm |
FR-pRo UV/NIR-HR | 190nm – 1100nm | 1nm – 120μm |
FR-pRo UV/NIR-EXT | 190nm – 1000nm | 3nm – 80μm |
FR-pRo-D UV/NIR | 190nm-1700nm | 1nm-250μm |
PRZYKŁADOWE WYNIKI
Warstwa SiO2 o grubości 1 nm na podłożu Si
Fotorezyst SU-8 o grubości 14,3 um na podłożu krzemowym
- Charakteryzacja warstw w funkcji zmiany temperatury w trybie Real-Time
- Zestaw do pomiarów transmitancji w warstwach i cieczach
- Pomiary całkowitej i dyfuzyjnej reflektancji
- Moduł do pomiarów transmitancji i absorbancji cieczy i warstw na transparentnych podłożach
- Moduł zmniejszający plamkę pomiarową
- Dwuosiowy liniowy stolik mechaniczny
- Monitorowanie in-situ warstw zawieszonych w cieczach