P-1000
Przemysłowy reaktor ALD
Przemysłowy reaktor ALD do dużych podłoży 3D
System PICOSUN® P-1000 ALD jest specjalnie przeznaczony do okresowego seryjnego powlekania różnych podłoży 3D, takich jak części maszyn mechanicznych, szkła, blachy, monet, części zegarków i biżuteria, soczewek urządzeń medycznych oraz implantów.
GŁÓWNE CECHY:
- Niezależne wloty prekursorów do komory
- Uniwersalna komora do wszystkich rodzajów podłoży
- Jednorodna temperatura w całej objętości komory reakcyjnej
- Prosta obsługa za pomocą komputera z ekranem dotykowym
TYPOWE PODŁOŻA:
- Wszystkie rodzaje podłoży 3D – części mechaniczne, monety, elementy zegarków i biżuterii, soczewki, implanty chirurgiczne (rozwiązania PicoMEDICAL™)
TEMPERATURA PROCESU
50 – 400°C
TYPOWE PROCESY
- Tlenki: Al2O3, TiO2, ZnO
ZAŁADUNEK PODŁOŻY
- Ręczny załadunek z wykorzystaniem np. wózka widłowego
PREKURSORY
- 10 linii prekursorowych (ciekłe, gazowe, stałe, ozon)
- 6 niezależnych wlotów do komory