07.13.19

Poprawa jednorodności powłok nanoszonych na podłoża prostokątne metodą spin coating

Podczas powlekania podłoży prostokątnych lub kwadratowych obserwuje się trzy główne niepożądane zjawiska: efekt „edge beads”, efekt geometryczny oraz efekt Bernoulli. Występowanie powyższych artefaktów powodować może znaczne pogorszyć jakość otrzymywanych warstw. Poprawa jednorodności może być uzyskana poprzez zmniejszenie prędkości wirowania (powstaje słabsze podciśnienie wytworzone przez efekty Bernoulliego, tak więc otrzymana powłoka będzie bardziej jednolita), ale jednocześnie pogrubieniu ulegną krawędzie – efekt „edge beads”.

Badanie przeprowadzone przez Gregory Luurtsema z Wydziału Elektrotechniki i Informatyki Uniwersytetu Kalifornijskiego w Berkeley (kliknij tutaj, aby zapoznać się z badaniami) dowodzi, że najlepszym sposobem poprawy jednorodności powłoki na kwadratowym podłożu jest wykorzystanie uchwytu lub nośnika z zagłębieniem, płyty barierowej oraz oczywiście zmniejszonej prędkości wirowania. Dzięki zastosowaniu spin coatera wyposażonego w zarówno uchwyt wgłębny podłoży, jak i płyty barierowej, narastanie warstwy na krawędziach czołowych można zmniejszyć aż o 125%. Głównie (90%) efekt spowodowany jest użyciem uchwytu z zagłębieniem na podłoże, a kolejne 35% możliwe jest do uzyskania poprzez użycie płyty barierowej, która powinna być zainstalowana w odległości ok. 3 mm – 12 mm nad podłożem.

Spin coater z serii SPIN150i może zostać wyposażony w odpowiednie uchwyty dostosowane do wielkości wymaganych podłoży oraz wymagań procesowych użytkownika.