FR-μProbe
Pomiary grubości warstw za pomocą mikroskopu optycznego
Reflektometr optyczny FR-μProbe pozwala na wykonanie lokalnych pomiarów grubości warstwy w zakresie już od 15 nm, wyznaczanie stałych optycznych oraz wykonywanie pomiarów reflektancji, transmitancji i absorbancji w zakresie 400 – 1000 nm.
FR-μProbe to narzędzie do zastosowań, w których wymagana wielkość plamki pomiarowej wynosi zaledwie kilka mikrometrów, np. dla powierzchni typu „micro-patterned” czy próbek wykazujących wysoki poziom rozpraszania światła.
Główne cechy urządzenia:
- Zgodność z większością mikroskopów: mocowanie do adaptera C-mount większości dostępnych na rynku mikroskopów optycznych (odbicie i/lub transmitancja)
- Pomiary spektroskopowe w czasie rzeczywistym
- Obrazowanie powierzchni za pomocą zintegrowanej kolorowej kamery o wysokiej rozdzielczości
- Nieograniczony dostęp do wszystkich pozostałych dostępnych funkcji mikroskopu
| Zakres spektralny | 400nm - 1000nm |
| Zakres pomiaru grubości (Obj. 5x) | 15nm - 90μm |
| Zakres pomiaru grubości (Obj. 10x) | 15nm - 80μm |
| Zakres pomiaru grubości (Obj. 20x) | 15nm - 40μm |
| Zakres pomiaru grubości (Obj. 40x) | 15nm - 10μm |
| Obliczenia współczynnik załamania światła | v / min. grubość 1000nm |
| Dokładność pomiaru grubości | 0,2% lub 2 nm |
| Precyzja pomiaru grubości | 0.02nm |
| Stabilność pomiaru grubości | 0.05nm |
| Kamera | Wysokorozdzielcza 2 lub 5Mpixel |
| Odległość robocza | Określona specyfikacją obiektywu |
| Wielkość plamki | 100 - 2μm |
| Źródło światła | Źródło światła mikroskopu |
| Rozdzielczość długości fali | 0.8nm |
| Ilość mierzonych warstw | Max. 5 warstw |
| Konwerter A/D | 16 bit |
| Zasilanie | USB |
| Wymiary | 300mm x 110mm x 40mm |