MDA-60MS
Mask aligner
Półautomatyczny mask aligner do pracy z podłożami o średnicy do 8"
Mask aligner model MDA-60MS zaprojektowany został w szczególności do użytku przez jednostki badawcze. Wysoka dokładność systemów MDA-60MS pozwala uzyskiwać bardzo dobre wyniki podczas pracy zarówno z małymi podłożami jak i waflami o średnicy do 8″.
Podstawowe cechy urządzenia:
- automatyczne poziomowanie masek i podłoży
- manualny załadunek, rozładunek oraz wyrównanie
- wielkość podłoży do 8”
- wielkość masek do 9” x 9”
- źródło światła UV 1000W
- zakres długości fal: 350nm – 450nm
- podwójny mikroskop CCD
- dostępne tryby pracy: kontakt próżniowy, kontakt twardy, kontakt miękki, kontakt zbliżeniowy
- rozdzielczość zależnie od trybu pracy do 1µm.