Průmyslový ALD reaktor pro substráty o průměru 300 mm a šarže substrátů 3D.
Průmyslový ALD reaktor pro výrobu LED, MEMS, senzorů
Průmyslový ALD reaktor pro podklady 300mm pro polovodičovou výrobu.
Pokročilý systém pro vysoce výkonnou polovodičovou výrobu
Průmyslový ALD reaktor pro velké podklady 3D
Průmyslové reaktory ALD