Systémy pro depozice tenkých vrstev, rentgenové systémy
ALD, PEALD, PVD, CVD, R2R, Iontová Implantace, Leptání
Elektronová litografie
Vysoce kvalitní monokrystalové a práškové difraktometry
Digestoře, mokré pracovní stoly
Počítačové mikrotomografy in vitro a in vivo
elipsometry