Elipsometr FS-4 (Gen. 4)

• 4 długości fali – 450 nm, 525 nm, 595 nm, 660 nm
• Kompaktowa optyka: źródło i detektor 110 x 80 x 60 mm
• Wysoka intensywność
• Zwiększona precyzja pomiaru
• Prosta integracja do pomiarów in-situ
• Doskonały wybór do pomiarów transparentnych układów jednowarstwowych w zakresie 0 – 2 μm z precyzją do 0.001 nm

Konfiguracja do pomiarów ex-situ

• Kąt padania: 65°
• Ręczne umieszczanie próbki i regulacja wysokości
• Próbki do wielkości 200 mm średnicy i grubości 20mm
  możliwość przechylenia próbki w zakresie ± 2°
• Wielkość plamki na próbce: 4 x 9 mm (opcjonalnie 0,8 x 1,9 mm lub 0,3 x 0,7 mm.)
• Kompaktowe wymiary: 180 x 400 mm, 4,8kg

Oprogramowanie Film Sense pozyskuje i analizuje dane elipsometryczne oraz podaje parametry warstwy – grubość, współczynnik załamania światła itp. Oprogramowanie Film Sense jest zintegrowane z urządzeniem i jest obsługiwane za pomocą interfejsu w standardowej przeglądarce internetowej . Każdy komputer stacjonarny, laptop lub tablet, posiadający zainstalowaną nowoczesną przeglądarkę internetową (Windows, Mac OS X, Linux, iOS, Android) może obsługiwać elipsometr Film Sense za pomocą połączenia Ethernet (nie jest wymagany dostęp do Internetu lub sieci). Główną zaletą interfejsu przeglądarki internetowej jest to, że nie jest wymagana instalacja oprogramowania, co znacznie upraszcza konfigurację i obsługę elipsometrów Film Sense.

Funkcje oprogramowania

• Tryby analizy danych: standardowy, wielowarstwowy in situ, wielopróbkowy, trajektoria i blisko powierzchni.
• Do 10 warstw modelu z opcjonalną chropowatością powierzchni i korektą spodniej strony podłoża.
• Zakresy parametrów i przyrosty początkowe w celu poprawy zbieżności parametrów dopasowania.
• Średnie efektywne przybliżenie Bruggemana dla materiałów mieszanych i warstw z gradientowym profilem współczynnika załamania.
• Modele dyspersji Cauchy’ego, Sellmeiera, Lorentza, Drude’a, Tauca-Lorentza i Multi-Osc.
• Pliki biblioteki stałych optycznych zależne od temperatury lub składu.
• Dane dotyczące depolaryzacji lub intensywności transmisji można łączyć z analizą danych z wielu długości fali.
• Symulacja pojedynczego pomiaru lub danych dynamicznych i wykreślanie różnic dopasowania względem wartości parametru.