Elipsometry

Wielozakresowe elipsometry Filmsense to kompaktowe, przystępne cenowo i proste w użytkowaniu urządzenia wyposażone w długo żywotne źródła światła LED (4 lub 8 różnych długości fali) oraz detektor typu PSD (Polarization State Detector) pozbawiony jakichkolwiek elementów ruchomych. Takie rozwiązanie zapewnia ekstremalnie krótki czas pomiaru wynoszący nawet 10ms dla wszystkich długości fali oraz wysoką stabilność układu pomiarowego w długim okresie czasu. Dzięki temu elipsometry Filmsense mogą być przystosowane do łatwej ich integracji z systemami próżniowymi takimi jak ALD, PVD, CVD umożliwiając wykonywanie dokładnych i szybkich pomiarów in-situ. Elipsometry umożliwiają określenie grubości warstw i współczynnika załamania światła z bardzo wysoką dokładnością. Dodatkowo dla wielu materiałów jest możliwy pomiar stałych optycznych n&k i innych właściwości warstwy jak np. chropowatości. Wielozakresowe elipsometry stanowią idealne rozwiązanie umożliwiające precyzyjne pomiary cienkich warstw oraz wielowarstw w laboratoriach naukowo-badawczych oraz działach kontroli jakości.