Kompaktowe systemy nablatowe PVD CVD
Kompaktowe systemy nablatowe PVD / CVD
Kompaktowe nablatowe systemy Plasmionique to bardzo elastyczne systemy badawcze, które mogą mieć zintegrowane wszystkie funkcjonalności dużych systemów PVD, PECVD włącznie z automatyzacją procesów, akwizycją danych oraz zdalnym dostępem.
Systemy te mogą być również zintegrowane w komorze rękawicowej glovebox do prowadzenia procesów wrażliwych na tlen i wodę.
Przykładowe możliwości konfiguracji:
PVD:
- Targety okrągłe 1″ – 3″ przewodzące lub dielektryczne
- Zbalansowane lub niezbalansowane magnesy
- Zasilacz RF lub DC
- Chłodzenie wodne
- Odparowanie termiczne: łódki rezystywne wysokotemperaturowe, komórki efuzyjne Knudsena
- Hybrydowe PVD – połączenie źródeł magnetronowych i odparowania termicznego
CVD
- Reaktor ICP lub CCP
- RF 13.56 MHz, ciągły lub pulsacyjny
- Przeznaczenie – procesy PECVD lub procesy trawienia