FR-pOrtable
FR-pOrtable to unikalne rozwiązanie do dokładnej i precyzyjnej nieniszczącej charakterystyki przezroczystych i półprzezroczystych pojedynczych warstw pojedynczych lub stosu filmów.
FR-pOrtable może wykonywać pomiary współczynnika odbicia i transmitancji w zakresie widmowym 370-1020 nm.
Kompaktowa konstrukcja FR-pOrtable gwarantuje wysoką dokładność i powtarzalność pomiarów.
Urządzenie może być zamontowane na dostarczonym stoliku lub może być używane jako mobilne, ręczne narzędzie pomiaru grubości i charakteryzacji warstw w terenie.
FR-pOrtable wykonuje pomiary współczynnika odbicia, transmitancji, absorbancji oraz koloru.
Zakres pomiaru grubości | 12nm – 90 μm |
Obliczenie współczynnika załamania światła | TAK (>100nm) |
Dokładność pomiaru grubości warstwy | 0.05nm lub 1‰ |
Wielkość podłoża | 1mm do 300mm |
Zakres spektralny | 370-1020nm |
Odległość robocza | 3-20mm |
Wielkość plamki | 1.0-4.0mm |
Żywotność lampy | 20.000h |
Jednocześnie mierzona ilość warstw | 5 |
Czas pomiaru | 5 msec |
PRZYKŁADOWE WYNIKI
2462.9nm TEOS na podłożu Si (współczynnik załamania światła)
110nm PMMA na podłożu Si
84nm TiO2 na szkiełku mikroskopowym
10nm Si3N4 na podłożu Si