Spin coating

Spin coating (powlekanie obrotowe) to metoda do nakładania cienkich warstw fotorezystów, polimerów, żywic, lakierów na płaskie powierzchnie takie jak podłoża półprzewodnikowe, szkło lub podłoża z tworzyw sztucznych. Oprócz procesów powlekania może również służyć do czyszczenia, suszenia, wywoływania i/lub trawienia podłoży. Podczas procesu powlekania podłoże jest mocowane w urządzeniu spin coater do specjalnego uchwytu próżniowego lub mechanicznego i następnie wprawiane w szybki ruch obrotowy. Następnie za pomocą strzykawki, pipety lub automatycznego systemu dozującego podawany jest na środek podłoża materiał powlekający. Materiał ten jest równomiernie rozprowadzany na powierzchni podłoża za pomocą siły odśrodkowej. Spin coating jest stosowany w elektronice, mikro-fluidyce, w procesach wytwarzania wzorów litograficznych oraz w optyce. Urządzenia do spincoatingu firmy SPS umożliwiają prowadzenie procesów na małych fragmentach, szkle laboratoryjnym, foliach, standardowych podłożach półprzewodnikowych a także na na dużych panelach szklanych o średnicy do 450 mm. Ze względu na zróżnicowanie stosowanych odczynników spin coater `y SPS są oferowane w dwóch wersjach tworzywa sztucznego – z polipropylenu lub teflonu.
Więcej o spin coatingu