Czyszczenie i procesy Megasonic

Łaźnie i uchwyty do procesów i czyszczenia Megasonic

    Ta strona jest chroniona przez reCAPTCHA oraz Google Polityka Prywatności | Warunki użytkowania.

    • Jednorodność czyszczenia, dzięki jednorodności fal megasonic
    • Znacznie delikatniejsze dla podłoży niż ultradźwięki – brak uszkodzeń wzorów o wielkości od 50nm, poniżej 50nm bardzo niewielkie uszkodzenia
    • Średnica bąbli kawitacyjnych 0,2-1 um ( ultradźwięki – 1-20 um)
    • Usuwane zanieczyszczenia o wielkości od 10 nm bez ograniczeń w górę
    • Możliwość optymalizacji na mniejszym systemie i prostego przeniesienia na system pół- lub w 100% przemysłowy
    • Możliwość integracji ze spin-coaterami
    • Możliwość integracji w liniowym procesie przemysłowym

    NABLATOWY SYSTEM DO CZYSZCZENIA MEGASONIC – MODEL TMCS

    Mały poręczny nablatowy system służący do czyszczenia z użyciem fal akustycznych Megasonic

    • Zbiornik ze stali nierdzewnej, opcjonalnie może być wykonany z kwarcu i Kynar
    • Dedykowany do pojedynczych podłoży, fragmentów podłoży, masek oraz innych elementów
    • Kontroler ze sterowaniem z poziomu LCD touchpanel
    • Recyrkulacja z filtrem
    • Opcja grzania
    • Opcja płukania
    • Kompaktowy zbiornik z niskim zużyciem chemikaliów
    • Rozmiar podłoży do 200mm, większe rozmiary dostępne na zamówienie


    BOWL MEG – BMEG

    Mały system Megasonic umożliwiający wykonywanie eksperymentów z wykorzystaniem energii akustycznej na bardzo małych elementach, czy fragmentach podłoży. Kompatybilny z kwasami, zasadami i większością rozpuszczalników.


    KWARCOWY SYSTEM MEGASONIC DO CZYSZCZENIA – DMEG

    Kompletny system do czyszczenia z wykorzystaniem bezpośrednich fal akustycznych gotowy do zainstalowania w stacji procesowej.


    PRZETWORNIK MACIERZOWY TYPU MEGASONIC – IAMEG

    Zaprojektowany do użycia w łaźniach procesowych. Łatwa instalacja i szybka gotowość do użycia.
    Użycie przetwornika może znacznie polepszyć skuteczność procesów oraz skrócić czas. Produkt można stosować w środowisku kwasów, zasad i rozpuszczalników.


    ZASILACZ RF IMPULSE – IMPULSE

    Zasilacz ze zintegrowanym kontrolerem dedykowany do użycia z przetwornikami typu Megasonic. Charakteryzuje się prostym w użyciu interfejsem