Czyszczenie i procesy Megasonic
• Jednorodność czyszczenia, dzięki jednorodności fal megasonic
• Znacznie delikatniejsze dla podłoży niż ultradźwięki – brak uszkodzeń wzorów o wielkości od 50nm, poniżej 50nm bardzo niewielkie uszkodzenia
• Średnica bąbli kawitacyjnych 0,2-1 um ( ultradźwięki – 1-20 um)
• Usuwane zanieczyszczenia o wielkości od 10 nm bez ograniczeń w górę
• Możliwość optymalizacji na mniejszym systemie i prostego przeniesienia na system pół- lub w 100% przemysłowy
• Możliwość integracji ze spin-coaterami
• Możliwość integracji w liniowym procesie przemysłowym
NABLATOWY SYSTEM DO CZYSZCZENIA MEGASONIC – MODEL TMCS
Mały poręczny nablatowy system służący do czyszczenia z użyciem fal akustycznych Megasonic
- Zbiornik ze stali nierdzewnej, opcjonalnie może być wykonany z kwarcu i Kynar
- Dedykowany do pojedynczych podłoży, fragmentów podłoży, masek oraz innych elementów
- Kontroler ze sterowaniem z poziomu LCD touchpanel
- Recyrkulacja z filtrem
- Opcja grzania
- Opcja płukania
- Kompaktowy zbiornik z niskim zużyciem chemikaliów
- Rozmiar podłoży do 200mm, większe rozmiary dostępne na zamówienie
BOWL MEG – BMEG
Mały system Megasonic umożliwiający wykonywanie eksperymentów z wykorzystaniem energii akustycznej na bardzo małych elementach, czy fragmentach podłoży. Kompatybilny z kwasami, zasadami i większością rozpuszczalników.
KWARCOWY SYSTEM MEGASONIC DO CZYSZCZENIA – DMEG
Kompletny system do czyszczenia z wykorzystaniem bezpośrednich fal akustycznych gotowy do zainstalowania w stacji procesowej.
PRZETWORNIK MACIERZOWY TYPU MEGASONIC – IAMEG
Zaprojektowany do użycia w łaźniach procesowych. Łatwa instalacja i szybka gotowość do użycia.
Użycie przetwornika może znacznie polepszyć skuteczność procesów oraz skrócić czas. Produkt można stosować w środowisku kwasów, zasad i rozpuszczalników.
ZASILACZ RF IMPULSE – IMPULSE
Zasilacz ze zintegrowanym kontrolerem dedykowany do użycia z przetwornikami typu Megasonic. Charakteryzuje się prostym w użyciu interfejsem