Czyszczenie i łaźnie Megasonic

• Jednorodność czyszczenia, dzięki jednorodności fal megasonic
• Znacznie delikatniejsze dla podłoży niż ultradźwięki – brak uszkodzeń wzorów o wielkości od 50nm,
• Średnica bąbli kawitacyjnych 0,2-1 um ( ultradźwięki – 1-20 um)
• Usuwane zanieczyszczenia o wielkości od 10 nm bez ograniczeń w górę
• Możliwość optymalizacji na mniejszym systemie i prostego przeniesienia na system pół- lub w 100% przemysłowy
• Możliwość integracji ze spin-coaterami
• Możliwość integracji w liniowym procesie przemysłowym
• Znacząca poprawa wydajności i skrócenie czasu procesów lift-off

MEGBOWL

Mały system Megasonic umożliwiający wykonywanie eksperymentów z wykorzystaniem energii akustycznej na bardzo małych elementach, czy fragmentach podłoży. Kompatybilny z kwasami, zasadami i większością rozpuszczalników.

Łaźnia dostępna w wersji ze stali nierdzewnej lub z teflonu z szafirowym przetwornikiem dostosowana do mocnych kwasów i zasad.

Możliwość podłączenia pompy recyrkulacyjnej do np. procesów lift-off.

KWARCOWY SYSTEM MEGASONIC DO CZYSZCZENIA – DMEG

Kompletny system do czyszczenia z wykorzystaniem bezpośrednich fal akustycznych gotowy do zainstalowania w stacji procesowej.

PRZETWORNIK MACIERZOWY TYPU MEGASONIC – IAMEG

Zaprojektowany do użycia w łaźniach procesowych. Łatwa instalacja i szybka gotowość do użycia.
Użycie przetwornika może znacznie polepszyć skuteczność procesów oraz skrócić czas. Produkt można stosować w środowisku kwasów, zasad i rozpuszczalników.

ZASILACZ RF IMPULSE – IMPULSE

Zasilacz ze zintegrowanym kontrolerem dedykowany do użycia z przetwornikami typu Megasonic. Charakteryzuje się prostym w użyciu interfejsem