MDA-400M-6
Mask aligner
Mask aligner do pracy z podłożami o średnicy do 6"
Mask aligner model MDA-400M-6 jest przeznaczony głównie dla jednostek naukowych oraz badawczo-rozwojowych.
MDA-400M-6 zapewnia wysoką dokładność pracy z podłożami o rozmiarze do 6″.
Podstawowe cechy urządzenia:
- manualna kontrola systemu
- wielkość podłoży do 6”
- wielkość masek do 7” x 7”
- źródło światła UV 350W
- podwójny mikroskop CCD
- dostępne tryby pracy: kontakt próżniowy, kontakt twardy, kontakt miękki, kontakt zbliżeniowy
- rozdzielczość zależnie od trybu pracy do 0.8µm