MDA-400M
Mask aligner
Mask aligner do pracy z podłożami o średnicy do 4"
Mask aligner model MDA-400M jest przeznaczony głównie dla jednostek naukowych i badawczo-rozwojowych.
MDA-400M zapewnia wysoką dokładność pracy z podłożami o rozmiarze do 4″.
Podstawowe cechy urządzenia:
- manualna kontrola systemu
- wielkość podłoży do 4”
- wielkość masek do 5” x 5”
- źródło światła UV 350W
- podwójny mikroskop CCD
- dostępne tryby pracy: kontakt próżniowy, kontakt twardy, kontakt miękki, kontakt zbliżeniowy
- rozdzielczość zależnie od trybu pracy do 1µm.