MDA-400LJ
Mask aligner
Mask aligner ze źródłem UV-LED do pracy z podłożami o średnicy do 4"
Mask aligner model MDA-400LJ jest przeznaczony głównie dla jednostek naukowych i badawczo-rozwojowych
Podstawowy model charakteryzuje się niskim kosztem eksploatacji dzięki zastosowaniu bezobsługowego źródła światła LED 365 nm z czasem życia wynoszącym aż 50.000 godzin.
Podstawowe cechy urządzenia:
- kontrola systemu manualna i pneumatyczna
- wielkość podłoży do 4”
- wielkość masek do 5” x 5”
- źródło światła UV LED 365 nm o niejednorodności <3%
- czas pracy źródła UV LED ok. 50 000 h.
- mikroskop 90 – 480x
- dostępne tryby pracy: kontakt próżniowy, kontakt twardy, kontakt miękki, kontakt zbliżeniowy
- rozdzielczość zależnie od trybu pracy do 1µm.