litografia elektronowa

NB5

Zaawansowany system do litografii elektronowej

    Ta strona jest chroniona przez reCAPTCHA oraz Google Polityka Prywatności | Warunki użytkowania.

    System litografii elektronowej nB5 to urządzenie generujące wzory metodą skanowania wektorowego przy użyciu wiązki okrągłej. System nB5 dzięki innowacyjnej i nowoczesnej optyce wiązki elektronów, w połączeniu z automatyką jest idealnym rozwiązaniem przeznaczonym zarówno do badań jak i produkcji. Systemy do litografii elektronowej (EBL) firmy Nanobeam oferują wysoką rozdzielczość, możliwość zastosowania w różnorodnych procesach i materiałach oraz charakteryzują się wysoką przepustowością, niskimi kosztami eksploatacji i wyjątkową niezawodnością.

    PROFIL WIĄZKI O WYSOKIEJ ROZDZIELCZOŚCI – MINIMALNE ROZPRASZANIE BOCZNE

    KONSTRUKCJA URZĄDZENIA – TECHNOLOGIE NOWEJ GENERACJI

    • Zredukowana automatyka / robotyka
    • Mniejsze zniekształcenia komory
    • Najszybszy system litografii elektronowej na rynku – utworzenie 2 milionów punktów w 110 sekund na powierzchni 4mm2
    • Wyjątkowa prędkość pracy – <100ms przy ruchu stolika o 500 μm
    • Tworzenie wzorów na całej powierzchni podłoża o średnicy 200 mm
    • Zaawansowany system redukcji i kontroli wibracji mechanicznych (system zainstalowany m.in. na 6 piętrze Uniwersytetu Columbia)
    • Interferometryczny system kontroli pozycji i wibracji stolika
    • Dokładny system pomiaru wysokości podłoża
    • Automatyczny podajnik na 6 podłoży

    ZAAWANSOWANA ELEKTRONIKA

    • Przetwornik DAC 20bit
    • Prędkość zapisu 55 MHz z zastosowaniem niskoszumowej technologii Nanobeam
    •  Czas zerowania wiązki (blanking) <5 ns
    • Szumy pochodzące z elektroniki < 2 ppm
    • Kontrola dawki wiązki – 0.5Hz rozdzielczość, ciągła kontrola podczas procesu

    NISKIE KOSZTY ZAKUPU I EKSPLOATACJI

    • Niskie koszty zakupu
    • Niskie koszty wymiany działa elektronowego
    • Niskie wymagania dotyczące instalacji – klasa czystości V
    • Wysoka odporność na pole rozproszenia – < 600nT
    • Wysoka odporność na wahania temperatury – < 0.3°C
    • Zużycie energii < 3kW
    • Odporność na awarie systemów peryferyjnych (sprężone powietrze, zasilanie)
    • Niezawodność – ponad 98% czasu bezawaryjnej pracy przy wykorzystaniu urządzenia 24h/dobę 7 dni w tygodniu
    •  GWARANCJA – 5 LAT