Litografia - tworzenie wzorów w fotorezyście

Litografia to fundament współczesnej mikroelektroniki i nanotechnologii, pozwalający na precyzyjne tworzenie wzorów w fotorezyście na podłożach półprzewodnikowych. Oferujemy systemy zarówno systemy bezmaskowe (bezpośrednia litografia laserowa lub projekcyjna) oraz systemy typu Mask Aligner.