Rozpylanie magnetronowe MAGNION

Systemy magnetronowe MAGNION są urządzeniami „pod klucz” dostosowanymi zgodnie z indywidualnymi wymaganiami użytkowników końcowych.

Opatentowane przez Plasmionique katody rozpylające z serii MAGNION zostały zaprojektowane z myślą o wysokiej wydajności zużycia targetów i są dostępne w zbalansowanych i niezbalansowanych konfiguracjach magnetycznych oraz w okrągłych lub prostokątnych kształtach.
Magnetrony w zależności od dostarczonego zasilacza mogą pracować w trybach  DC, pulsed-DC, AC, HIPIMS lub RF.

Systemy mogą być wyposażone w źródło plazmy odległej PLUME do prowadzenia procesów reaktywnego napylania magnetronowego czy aktywacji podłoży.

Zaawansowany stolik na podłoża umożliwia obrót, grzanie, polaryzację czy kontrolowaną komputerowo zmianę nachylenia próbek.

MAGNETRONY

• Targety okrągłe 1″, 2″,3″, 4″ lub prostokątne
• Praca w trybie RF, DC, pulsed-DC, HIPIMS
• Przesłony oraz kominy zabezpieczające przed zanieczyszczeniami krzyżowymi
• Regulacja nachylenia i położenia magnetronów
• Możliwość ko-depozycji z kilku magnetronów jednocześnie

PRÓBKI

• Uchwyty na próbki dostosowane do wymagań użytkownika
• Grzanie do powyżej 850 ºC 
• Chłodzenie
• Zmotoryzowany stolik obrotowy, zmiana kąta nachylenia
• Polaryzacja RF lub DC
• Załadunek za pomocą komory załadowczej load-lock

ŚRODOWISKO PROCESU NAKŁADANIA

• Komora ze stali nierdzewnej o wielkości dostosowanej do wymagań użytkownika z możliwością dodatkowych rozszerzeń w przyszłości
• Możliwość pracy z tlenem lub gazami korozyjnymi
• Mierniki próżni: szerokozakresowy miernik i miernik pojemnościowy do kontroli ciśnienia procesowego
• Zaawansowany system dostarczania gazów procesowych i par FLOCON, zawierający masowe kontrolery przepływu. Możliwość pełnej automatyzacji i zaprogramowania odpowiedniej mieszaniny gazów.
• Ilość masowych kontrolerów  przepływu wraz z zaworami odcinającymi zgodnie z wymaganiami klienta.
• Przepłukiwanie i wentylowanie linii gazowych i komory do bezpiecznego otwarcia komory
• Możliwość zintegrowania mikrowagi kwarcowej i optycznego spektrometru emisyjnego

OPROGRAMOWANIE

• Czytelne i proste w obsłudze oprogramowanie sterujące
• Pełna graficzna kontrola nad wszystkimi podzespołami systemu
• Monitorowanie i zapisywanie warunków procesu
• Zintegrowane sygnały z mikrowagi kwarcowej i spektrometru emisyjnego
• Zaawansowane systemy bezpieczeństwa