Kompaktní stolní systémy PVD / CVD
Kompaktní stolní systémy PVD / CVD
Kompaktní stolní systémy PVD / CVD
Kompaktní stolní systémy Plasmionique jsou řadou flexibilních výzkumných systému, které mohou integrovat všechny funkce velkých systémů PVD a PECVD, včetně automatizace procesů, registrace dat a vzdáleného přístupu. Systémy tabletop lze integrovat do rukavicové komory pro procesy citlivé na kyslík a vodu.
Příklady možné konfigurace:
PVD:
- Kulaté terče 1″ – 3″, vodivé nebo dielektrické
- Vyvážené nebo nevyvážené magnetrony
- Zdroj RF nebo DC
- Vodní chlazení
- Tepelné odpařování: vysokoteplotní cely, knudsenovy efusní cely
- Hybridní PVD – kombinace magnetronových zdrojů a tepelného odpařování
CVD
- Reaktor ICP nebo CCP
- RF 13,56 MHz, kontinuální nebo pulzní
- Určené použití – procesy PECVD nebo procesy leptání