Elipsometr FS-8 (Gen. 4) in situ

• Možnosti elipsometru in situ
  • Integrace elispometru FS-8 (Gen. 4) se systémy pro depozice tenkých vrstev a leptání.
  • Moznost využití s většinou technik depozice tenkých vrstev a leptání: naprašování, ALD, ALE, MBE, CVD, PLD atd.
  • Stanovení konstant n & k, rychlosti depozice za různých podmínek procesu bez porušení vakua.
  • Přesnost měření v rozsahu subnanometrů.
  • Monitorování a kontrola depozice vícevrstvých povlaků.
  • Rozhraní FS-API pro ovládání pomocí externího softwaru (kompatibilní s LabVIEW).

  Elipsometr in situ – vlastnosti:

  • Zdroj světla LED a detektor bez pohyblivých částí – spolehlivý provoz a rychlé měření.
  • Kompaktní a lehký zdroj a jednotka detektoru (každý cca 1 kg).
  • Volitelné adaptéry pro montáž na standardní příruby CF 2,75″nebo 1,33″, se snadno nastavitelným stupněm hrubého a jemného náklonu.
  • Pokročilé softwarové funkce pro vizualizaci a analýzu dynamických elipsometrických dat.
  • Motorizované držáky pro rychlou automatickou kalibraci elipsometru vůči povrchu podkladu

Software Film Sense registruje a provádí analýzu elipsometrických dat a následně poskytuje parametry vrstvy ­ tloušťku, index lomu atd. Software Film Sense je integrován do zařízení a je ovládán prostřednictvím rozhraní ve standardním webovém prohlížeči. Každý stolní počítač, notebook nebo tablet s nainstalovaným moderním webovým prohlížečem (Windows, Mac OS X, Linux, iOS, Android) může provozovat elipsometr Film Sense pomocí ethernetového připojení (není vyžadován přístup k internetu ani k síti). Hlavní výhodou rozhraní webového prohlížeče je, že není nutná žádná instalace softwaru, což výrazně zjednodušuje konfiguraci a provoz elipsometrů Film Sense.

Softwarové funkce

• Režimy analýzy dat: standardní, vícevrstvé in situ, vícevzorkové, trajektorie a blízký povrch.
• Až 10 modelových vrstev s volitelnou drsností povrchu a korekcí zadní strany substrátu.
• Rozsah parametrů a počáteční přírůstky pro zlepšení konvergence přizpůsobení parametrů.
• Bruggmanova efektivní střední aproximace pro smíšené materiály a pro vrstvy graded-index (GRIN).
• Disperzní modely Cauchyho, Sellmeierův, Lorentzův, Drudeho, Tauc-Lorentzův a Multi-Osc.
• Databáze optických konstant závislých na teplotě nebo složení.
• Data depolarizace nebo intenzity transmise lze kombinovat s analýzou dat z vícepásmových měření.
• Simulace jednotlivého měření nebo dynamických dat a vykreslování Fit Diff hodnota parametru.