Termální odpařování EVAD
Termální odpařování
Termální odpařování
Řada EVAD je určena k odpařování kovů, dielektrických materiálů a organických materiálů termálně nebo pomocí elektronových paprsků (E-beam), pro depozice tenkých vrstev nebo epitaxního růstu materiálů.
Systémy v samostatné nebo stolní konfiguraci jsou pod kontrolou pokročilého softwaru, který umožňuje přesnou kontrolu tloušťky vrstvy. Pro depozice organických vrstev je zde možnost integrace s rukavicovou komorou Glovebox.
Volba metody odpařování závisí mimo jiné na teplotě odpařování použitého materiálu
- Depoziční cely pro odpařování až do 1800 °C
- Nízkoteplotní efuzní cely pro organické materiály
- Výběr cely a rozsah teplot odpařování podle použitých materiálů
- Přesné monitorování teploty a PID regulace
- Rolety s ručním nebo automatickým ovládáním
- Odpařování E-beam – zdroje s jedním nebo více kapsami