ALD w produkcji MEMS
ALD szczególnie dobrze nadaje się do ochrony i funkcjonalizacji warstw w trójwymiarowych urządzeniach MEMS i strukturach o wysokim współczynniku wysokości do szerokości (HAR).
Picosun jest światowym liderem w dostarczaniu rozwiązań do zastosowań MEMS, gdzie wymagany jest wysoki poziom konforemności i jakości warstw. Picosun oferuje różnorodne rozwiązania dla klientów MEMS, od nakładania tlenków metali jako warstw izolacyjnych, pasywacyjnych, warstw zatrzymujących procesy trawienia, nakładania materiałów hybrydowych i nanolaminatów po warstwy hydrofobowe i hydrofilowe do ochrony przed wilgocią, warstwy antyadhezyjne i warstwy optyczne do czujników, głowic drukujących, urządzeń optoelektrycznych MEMS, mikrofonów MEMS.
Reaktory do produkcji LED: